ما هي معالجة الرقاقة للأشعة فوق البنفسجية؟

معالجة رقاقة للأشعة فوق البنفسجية هي تقنية تصنيع أشباه الموصلات التي تستخدم الأشعة فوق البنفسجية أثناء الطباعة الحجرية الضوئية والتنظيف وتغيير السطح والترابط. تركز أنظمة الأشعة فوق البنفسجية الأخرى على توفير الإشعاع في اللحظات الحرجة من الإجراء ، مما يضمن دقة كل خطوة وموثوقيتها. على عكس التقنيات الحرارية والكيميائية ، تختار هذه الطريقة التنظيف المعزز بالأشعة فوق البنفسجية والترابط بأسطح الرقاقة المحاذاة.

يمكن معالجة الرقاقة والترابط مع ضوء الأشعة فوق البنفسجية

فرض طبقة معقدة على سطح الرقاقة ضوئيا

باستخدام الطباعة الحجرية الضوئية ، يتم تثبيت أنماط متقدمة على أسطح الرقاقة أثناء العمليات المتسلسلة ، ويتم الإزالة بخطوات صغيرة تصل إلى بضعة نانومترات.

العمليات التي تتم دون تطبيق الحرارة

المواد الحساسة لدرجة الحرارة مثل نظارات GaAs وغيرها من المركبات الحساسة ستستفيد من العلاج الخالي من الإجهاد مثل التعرض للأشعة فوق البنفسجية.

تنظيف وتعديل الأسطح

أثناء مراحل تحضير طبقات الطلاء أو الرابطة ، يمكن للتنظيف بالأشعة فوق البنفسجية تعطيل الأسطح عن طريق قطع سلاسل الكربون التي تؤدي إلى أسطح خالية من الملوثات.

الاستدامة والابتكارات الصديقة للبيئة

تستخدم أدوات التعرض لرقاقة السيليكون من الجيل الأخير الأجهزة التي تستخدم تقنيات الأشعة فوق البنفسجية LED الخالية من الزئبق. هذه الأجهزة أكثر صداقة للبيئة بسبب استهلاكها المنخفض للطاقة بالإضافة إلى العمر الطويل.

الوظائف الرئيسية للأشعة فوق البنفسجية في معالجة الرقاقة

الأشعة فوق البنفسجية الطباعة الحجرية الضوئية

لنقش الميزات الدقيقة والنانوية على الرقائق والطباعة الحجرية DUV لديها قدرة أكبر على تقليل الحجم.

ربط رقاقة الأشعة فوق البنفسجية

يستخدم المواد اللاصقة فوق البنفسجية في درجات حرارة منخفضة إلى حد ما ، وهو أمر لا بد منه في تقنيات WLP و MEMS ، لربط الرقائق.

النقش والتقطيع بمساعدة الأشعة فوق البنفسجية

يوفر كتابة السيليكون والياقوت والرقائق الزجاجية باستخدام ليزر الأشعة فوق البنفسجية لتحسين جودة الحواف مع تقليل الحطام وتحسين الدقة.

تنشيط Surface

يؤدي انخفاض طاقة الرابطة اللاصقة والطاقة السطحية مع زيادة الطاقة البينية إلى تقوية الرابطة اللاصقة.

خبز ما بعد التعرض (PEB)

تعمل عمليات ما بعد التعرض لمقاومة الضوء على تعزيز الربط المتقاطع للروابط ، مما يعزز تعريف الصورة ويحسن الالتصاق والقوة بشكل عام.

التعرض الفني: أنظمة الأشعة فوق البنفسجية المطبقة على معالجة الرقاقة

تماما مثل أي أداة أخرى مستخدمة في مجال أشباه الموصلات ، تتطلب أنظمة الأشعة فوق البنفسجية المستخدمة في معالجة الرقاقة الدقة والموثوقية والامتثال البيئي. إنها تدمج كلا من الأشعة فوق البنفسجية العميقة (185 نانومتر) والأشعة فوق البنفسجية القريبة (405 نانومتر) بالإضافة إلى تجاوز عتبة شدة التعرض 20 واط / سم ^ 2 اللازمة لتقنيات الطباعة الحجرية الحديثة وعمليات التنظيف الجاف والترابط والنقش المتقدمة للرقاقة.

بالمقارنة مع الليزر والسائر ، تمتلك تقويم القناع منهجيات مختلفة للتعرض للأشعة فوق البنفسجية. تعالج هذه الأنظمة رقائق السيليكون و GaAs والزجاج والياقوت ، وتوفر تحكما سلبيا ونشطا في درجة الحرارة ، وتمنع ارتفاع درجة الحرارة من خلال إدارة درجة الحرارة.

تختلف مصادر الأشعة فوق البنفسجية ، السلبية والنشطة ، عن بعضها البعض في شدتها والطيفها. هذه الأنظمة مناسبة لوحدات البحث والتطوير وكذلك لخطوط الإنتاج الآلية وشبه الآلية نظرا لقدراتها الجزئية أو الكاملة على الأتمتة.

ما هي الفوائد على التقليدية؟

عند النظر إلى فوائد معالجة المياه للأشعة فوق البنفسجية ومقارنتها بالطرق الحرارية أو الكيميائية التقليدية ، من الواضح أن المزايا تفوق العيوب. بادئ ذي بدء ، تعمل معالجة WAFE للأشعة فوق البنفسجية على تحسين تقنيات التصنيع الدقيقة والنانوية الحالية. يعمل التكامل مع أنظمة الطباعة الحجرية الضوئية للأشعة فوق البنفسجية على تحسين الدقة التراكمية التي تم تحقيقها لتعريفات الأنماط المعقدة.

• تعمل أنظمة المعالجة الرأسية وتعريض الأشعة فوق البنفسجية على زيادة الإنتاجية رأسيا مع معالجة قيود وقت الدورة. وهذا بدوره يقلل من وقت الخمول مع زيادة كفاءة الإنتاج وتحسين مقاييس وقت تشغيل الإنتاج الحجمي.

• نظرا لأن هذه الأنظمة لا تتطلب العديد من عمليات استبدال المصابيح ، تزداد الصيانة والعمر التشغيلي لأنظمة الأشعة فوق البنفسجية القائمة على المصباح. عندما يتم استخدام هذه الأنظمة جنبا إلى جنب مع استهلاك أقل للطاقة ، فإنها تصبح قادرة على تحقيق وفورات أعلى ومستدامة.
• نظرا لأن الأنظمة الصديقة للبيئة اليوم لا تزال مرتبطة بتأثيرات أقل للخطر ، فإن إزالة الزئبق والمواد الكيميائية الخطرة الأخرى تجعل هذه الأنظمة خضراء. أيضا ، فإن الإشعاع ذو درجة الحرارة المنخفضة الذي تولده هذه الأنظمة فائقة التنظيف يضعها تحت حدود الحساسية للرقائق التي قد تتلف بسبب الحرارة.
• كما أن تقليل الاعتماد على الحمامات الكيميائية الرطبة يعزز نظافة العملية وينتج عنه عوائد أنظف.

المعالجات بالأشعة فوق البنفسجية للمواد والمواد

رقائق السيليكون - الأكثر فائدة للدوائر المتكاملة وكذلك أجهزة MEMS.

زرنيخيد الغاليوم (GaAs) - تستخدم في أنظمة الترددات الراديوية والضوئية.

النظارات والسيليكا المنصهرة - يطبق في الأجهزة البصرية وأجهزة الاستشعار الحيوية والتقنيات الأخرى المرتبطة بها.

ركائز البوليمر - يعمل في الإلكترونيات المرنة.

المقاومات الضوئية - ضروري للعمليات الشمسية والحجرية.

الطباعة الحجرية الضوئية في تقنيات MEMS و IC

في MEMS ، مع التحكم في الأشعة فوق البنفسجية ، أصبح من الممكن الآن تصميم وتصنيع حزم نانوية متحركة دقيقة وأجهزة استشعار وحتى مشغلات. في تقنية الدوائر المتكاملة ، يتم إنتاج أقنعة ضوئية متعددة الطبقات بواسطة الطباعة الحجرية الناعمة العميقة للأشعة فوق البنفسجية. أثناء عملية بلمرة اليوريثان للبوليمرات الضوئية ، تعمل راتنجات الدييبوكسي ، والمعروفة أيضا باسم تضخم القوالب ، على تعزيز الترابط بين الطبقات العازلة والمعدنية ، مما يحسن التصاق الطبقة العازلة والمعدنية.

غرف الأبحاث والأتمتة

تم دمج تصميمات ISO من فئة غرف الأبحاث مع ميزات الأتمتة الجديدة. بالإضافة إلى ذلك ، تمتد حدود نظام معالجة الرقاقة بالأشعة فوق البنفسجية. توفر الأنظمة:

• استخراج الدخان الآلي المضمن لتخليق مستمر ومستمر للرقاقة.
• واجهات لوحة اللمس.
• يقلل الإمداد المستمر والانبعاثات المنخفضة لجزيئات التدريع من التلوث المحمول جوا.
• تصميم هيكلي معياري للتوسع التدريجي للطاقة الإنتاجية.
• انبعاث منخفض للجزيئات الملوثة.

دليل المشتري: اختيار أفضل نظام لمعالجة رقاقة الأشعة فوق البنفسجية

سيؤدي اختيار رقاقة الأشعة فوق البنفسجية المناسبة إلى تحسين سرعة شركة أشباه الموصلات ودقتها وكفاءتها. تشمل الاعتبارات الأكثر أهمية أثناء الاختيار ما يلي:

• نطاق الأطوال الموجية

تأكد من أن المقاومات الضوئية وعوامل الترابط المستخدمة لها نطاقات للأشعة فوق البنفسجية تتراوح من 185 إلى 405 نانومتر.

• شدة التحكم في التعرض للنظام

تأكد من أن المعلمات المتغيرة والمصممة مسبقا لها إعدادات شدة ثابتة وتحكم دقيق في الجرعة.

• طرق التبريد

يجب أن يوفر النشط (السائل / الهواء) والسلبي (المبدد الحراري) حماية كافية من الحرارة الزائدة خلال فترات التشغيل الممتدة.

• قابلية التوسع

يبدأ البحث والتطوير بوحدات منضدية تتقدم إلى أنظمة مضمنة للإنتاج بكميات كبيرة. تم بناء الأنظمة المصممة خصيصا للوحدات المصممة خصيصا للإنتاج وفقا لمتطلبات محددة.

• التوافق مع الأتمتة

قم بتقييم الفجوات باستخدام المناولات الروبوتية والناقلات وأتمتة غرف الأبحاث لواجهات الأنظمة الأخرى دون التعرض لخطر حدوث فجوات في واجهة الأتمتة.

مساعدة من الشركاء وبائعي معدات الصيانة

بالنسبة للإصلاح اللوجستي ودعم الخدمة ، فإن تلقي المساعدة في الوقت المناسب يحظى بتقدير كبير من قبل البائعين. UVET لا مثيل لها في توفير أنظمة معالجة رقاقة الأشعة فوق البنفسجية عالية السرعة وصديقة للبيئة وحديثة متوافقة مع غرف الأبحاث لأشباه الموصلات. هذه الأنظمة موثوقة جيدا من قبل مهندسي أشباه الموصلات في جميع أنحاء العالم بسبب الثقة في سرعة ودقة الأنظمة.

استنتاج

مع ارتفاع حجم الإنتاج ، يرتفع الطلب على معالجة أشباه الموصلات للأشعة فوق البنفسجية. تتمثل المزايا التي يوفرها الأشعة فوق البنفسجية في تصنيع أشباه الموصلات في تحسين العمل الدقيق والقياس الفعال من حيث التكلفة بطريقة قياسية نظيفة. يتم تحقيق هذه الدقة من خلال تصنيع الرقاقة المتدرجة بمساعدة الضوء والحفر هل تتطلع إلى تحسين الدقة لإنتاجك؟ التكنولوجيا المتطورة في انتظارك في UVET ، حيث يتم تحقيق دقة صناعية لا مثيل لها مع كل بناء طبقة نظام رقاقة الأشعة فوق البنفسجية.